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产品分类
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产品信息
AWM 系列传感器，请来电联系。
AWM3300气体质量流量传感器特点：
● 激光校整保证了一致的互换性；
●测量流速可至1.0LPM 。
AWM3000系列气体质量流量传感器技术规格：10.0±0.01VDC
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AWM3100V |
AWM3150V |
AWM3200V |
AWM3300V | ||
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流量范围（span） |
+200sccm |
+30sccm |
|
+1000sccm | ||
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压力范围(psi) |
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(参照附录) |
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± |
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输出电压 |
5VDC@ |
3.4VDC@ |
5VDC@ |
5VDC | ||
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@ 标定点 |
200sccm |
25sccm |
|
1000sccm | ||
|
零点电压 |
1.00±0.05VDC |
1.00±0.1VDC |
1.00±0.08mV |
1.00±0.1VDC | ||
|
零点漂移 |
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|
+25~-25˚C |
±25mV |
±100mV |
±25mV |
±25mV | ||
|
+25~+85˚C |
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|
输出电压漂移 |
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|
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|
Max |
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+25~-25˚C |
-4% 读数 |
±5.0% 读数 |
+24.0% 读数 |
-5% 读数 | ||
|
+25~+85˚C |
+4% 读数 |
±5.0% 读数 |
-24.0% 读数 |
+5% 读数 | ||
|
重复性& 迟滞Max |
±0.5% 读数 |
± 1% 读数 |
±0.5% 读数 |
±1% 读数 | ||
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Min Typ. |
Max. |
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电源（VDC） |
8.0 10±0.01 |
15 (2) |
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功耗（mW） |
50 |
60 |
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反应时间（ms） |
1.0 |
3.0 (1) |
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共模压力(psi) |
|
25 |
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工作温度 |
-25~85˚C |
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储存温度（˚C） |
-40~90˚C |
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冲击(5drops,6axis) |
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